求问多晶硅的纯度怎么测,使用什么仪器

来源:学生作业学帮网 编辑:学帮网 时间:2024/07/02 02:02:53

求问多晶硅的纯度怎么测,使用什么仪器

多晶硅生产厂家一般配置的仪器:
气相、红外、ICP-OES、ICP-MS
ICP-OES:主要用于测试原料及过程控制.
ICP-MS:用于成品检测.
国内现在上马建设的多晶硅厂家很多,基本上都是这种配置.