PECVD工作原理

来源：学生作业学帮网 编辑：学帮网 时间：2024/07/04 03:16:21

PECVD工作原理

真空下,加上射频或微波电场,使反应室气体发生辉光放电产生大量电子,在电场作用下获得能量,与气体分子发生碰撞使气体分子活化吸附在衬底上,发生化学反应生成介质膜,副产物从衬底上解吸,随主气流由真空泵抽走!

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